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Direct-Liquid-Injection Chemical Vapor Deposition of Nickel...

Chemistry of Materials 2010 / 05 Vol. 22; Iss. 10

Direct-Liquid-Injection Chemical Vapor Deposition of Nickel Nitride Films and Their Reduction to Nickel Films

Li, Zhefeng, Gordon, Roy G., Pallem, Venkateswara, Li, Huazhi, Shenai, Deo V.
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Volume:
22
Langue:
english
Journal:
Chemistry of Materials
DOI:
10.1021/cm903636j
Date:
May, 2010
Fichier:
PDF, 2.43 MB
english, 2010
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