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[IEEE 2013 IEEE Sensors - Baltimore, MD, USA (2013.11.3-2013.11.6)] 2013 IEEE SENSORS - A differential resonant barometric pressure sensor using SOI-MEMS technology

Luo, Zhenyu, Chen, Deyong, Wang, Junbo, Chen, Jian

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Année:

2013

Langue:

english

DOI:

10.1109/icsens.2013.6688394

Fichier:

PDF, 1.85 MB

english, 2013

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