A quantitative investigation of divacancy production...

Physica B+C 1983 Vol. 116; Iss. 1-3

A quantitative investigation of divacancy production enhancement by interstitial oxygen in electron-irradiated silicon

G.S. Oehrlein, J.L. Lindström, I. Krafcsik, A.E. Jaworowski, J.W. Corbett
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Volume:
116
Année:
1983
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/0378-4363(83)90252-8
Fichier:
PDF, 424 KB
english, 1983
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