Thermal Decomposition of NF3 by Ti, Si, and Sn Powders

Chemistry of Materials 1995 / 04 Vol. 7; Iss. 4

Thermal Decomposition of NF3 by Ti, Si, and Sn Powders

Vileno, Elizabeth, LeClair, Michael K., Suib, Steven L., Cutlip, Michael B., Galasso, Francis S., Hardwick, Steven J.
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Volume:
7
Langue:
english
Journal:
Chemistry of Materials
DOI:
10.1021/cm00052a012
Date:
April, 1995
Fichier:
PDF, 634 KB
english, 1995
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