RF-sputtered PZT thin films for infrared sensor arrays

Köhler, R., Suchaneck, G., Padmini, P., Sandner, T., Gerlach, G., Hofmann, G.

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Volume:

225

Langue:

english

Journal:

Ferroelectrics

DOI:

10.1080/00150199908009111

Date:

March, 1999

Fichier:

PDF, 712 KB

english, 1999

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