A rotational capacitive micromachined ultrasonic transducer...

IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency Control 2014 / 9 Vol. 61; Iss. 9

A rotational capacitive micromachined ultrasonic transducer (RCMUT) with an internally-sealed pivot

Kim, Donghwan, Kuntzman, Michael, Hall, Neal
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Volume:
61
Langue:
english
Journal:
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
DOI:
10.1109/TUFFC.2014.3068
Date:
September, 2014
Fichier:
PDF, 10.06 MB
english, 2014
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