Basic Experiment on Atmospheric-Pressure Plasma Etching...

Materials Science Forum 2013 / 1 Vol. 740-742

Basic Experiment on Atmospheric-Pressure Plasma Etching with Slit Aperture for High-Efficiency Dicing of SiC Wafer

Sano, Yasuhisa, Nishikawa, Hiroaki, Aida, Kohei, Tangpatjaroen, Chaiyapat, Yamamura, Kazuya, Matsuyama, Satoshi, Yamauchi, Kazuto
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Volume:
740-742
Langue:
english
Journal:
Materials Science Forum
DOI:
10.4028/www.scientific.net/MSF.740-742.813
Date:
January, 2013
Fichier:
PDF, 301 KB
english, 2013
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