Acoustic characterization of AlN films using a High...

Integrated Ferroelectrics 2001 / 01 Vol. 41; Iss. 1-4

Acoustic characterization of AlN films using a High Overtone Bulk acoustic wave resonator

Lee, Si-Hyung, Kim, Ju-Hyung, Lee, Jeon-Kook, Mansfeld, G. D., Alekseev, S. G., Yoon, Ki Hyun
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
41
Langue:
english
Journal:
Integrated Ferroelectrics
DOI:
10.1080/10584580108012818
Date:
January, 2001
Fichier:
PDF, 654 KB
english, 2001
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué