Free-Standing Silicon Nanogratings for Extreme UV Rejection

ACS Photonics 2014 / 07 Vol. 1; Iss. 7

Free-Standing Silicon Nanogratings for Extreme UV Rejection

Kaplan, Alex F., Gilbert, Jason A., Trabert, Rachel, Zurbuchen, Thomas H., Guo, L. Jay
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Volume:
1
Langue:
english
Journal:
ACS Photonics
DOI:
10.1021/ph500018b
Date:
July, 2014
Fichier:
PDF, 4.43 MB
english, 2014
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