Immersion Deposition of Metal Films on Silicon and...

Chemistry of Materials 2003 / 01 Vol. 15; Iss. 1

Immersion Deposition of Metal Films on Silicon and Germanium Substrates in Supercritical Carbon Dioxide

Ye, Xiang R., Wai, Chien M., Zhang, Daqing, Kranov, Yanko, McIlroy, David N., Lin, Yuehe, Engelhard, Mark
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Volume:
15
Langue:
english
Journal:
Chemistry of Materials
DOI:
10.1021/cm011534h
Date:
January, 2003
Fichier:
PDF, 372 KB
english, 2003
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