HfO[sub 2] Films Grown by ALD Using Cyclopentadienyl-Type...

Journal of The Electrochemical Society 2006 Vol. 153; Iss. 3

HfO[sub 2] Films Grown by ALD Using Cyclopentadienyl-Type Precursors and H[sub 2]O or O[sub 3] as Oxygen Source

Niinistö, Jaakko, Putkonen, Matti, Niinistö, Lauri, Arstila, Kai, Sajavaara, Timo, Lu, Jun, Kukli, Kaupo, Ritala, Mikko, Leskelä, Markku
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Volume:
153
Année:
2006
Langue:
english
Journal:
Journal of The Electrochemical Society
DOI:
10.1149/1.2162447
Fichier:
PDF, 517 KB
english, 2006
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