Spatial Atomic Layer Deposition of Zinc Oxide Thin Films

ACS Applied Materials & Interfaces 2012 / 01 Vol. 4; Iss. 1

Spatial Atomic Layer Deposition of Zinc Oxide Thin Films

Illiberi, A., Roozeboom, F., Poodt, P.
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Volume:
4
Langue:
english
Journal:
ACS Applied Materials & Interfaces
DOI:
10.1021/am2013097
Date:
January, 2012
Fichier:
PDF, 3.39 MB
english, 2012
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