Microfabrication of surface acoustic wave device using UV...

Microelectronic Engineering 2014 / 06 Vol. 122

Microfabrication of surface acoustic wave device using UV LED photolithography technique

Bing, Chu Yih, Mohanan, Ajay Achath, Saha, Tridib, Nagasundara Ramanan, Ramakrishnan, Parthiban, R., Ramakrishnan, N.
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Volume:
122
Langue:
english
Journal:
Microelectronic Engineering
DOI:
10.1016/j.mee.2014.03.011
Date:
June, 2014
Fichier:
PDF, 968 KB
english, 2014
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