Electrical Contact Resistance as a Diagnostic Tool for MEMS...

Journal of Microelectromechanical Systems 2004 / 12 Vol. 13; Iss. 6

Electrical Contact Resistance as a Diagnostic Tool for MEMS Contact Interfaces

Lumbantobing, A., Kogut, L., Komvopoulos, K.
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Volume:
13
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/jmems.2004.838388
Date:
December, 2004
Fichier:
PDF, 1.13 MB
english, 2004
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