Ion implantation of positive photoresists

Russian Microelectronics 2014 / 05 Vol. 43; Iss. 3

Ion implantation of positive photoresists

Brinkevich, D. I., Brinkevich, S. D., Vabishchevich, N. V., Odzhaev, V. B., Prosolovich, V. S.
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Volume:
43
Langue:
english
Journal:
Russian Microelectronics
DOI:
10.1134/S106373971401003X
Date:
May, 2014
Fichier:
PDF, 688 KB
english, 2014
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