Multilayered Ge/SiGe Material in Microfabricated...

Journal of Electronic Materials 2014 / 10 Vol. 43; Iss. 10

Multilayered Ge/SiGe Material in Microfabricated Thermoelectric Modules

Samarelli, A., Llin, L. Ferre, Cecchi, S., Chrastina, D., Isella, G., Etzelstorfer, T., Stangl, J., Gubler, E. Muller, Weaver, J. M. R., Dobson, P., Paul, D. J.
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Volume:
43
Langue:
english
Journal:
Journal of Electronic Materials
DOI:
10.1007/s11664-014-3233-z
Date:
October, 2014
Fichier:
PDF, 1.88 MB
english, 2014
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