Pulsed magnetron sputter technology
S. Schiller, K. Goedicke, J. Reschke, V. Kirchhoff, S. Schneider, F. MildeVolume:
61
Année:
1993
Langue:
english
Pages:
7
DOI:
10.1016/0257-8972(93)90248-m
Fichier:
PDF, 923 KB
english, 1993