Influence of mixed reductants on the growth rate of...

Influence of mixed reductants on the growth rate of WF6-based W-CVD

J.F. Jongste, T.G.M. Oosterlaken, G.J. Leusink, C.A. van der Jeugd, G.C.A.M. Janssen, S. Radelaar

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Volume:

Année:

1995

Langue:

english

Pages:

DOI:

10.1016/0169-4332(95)00113-1

Fichier:

PDF, 449 KB

english, 1995

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