PECVD silicon oxides as studied by XPS, RBS, ERDA, IRS and...

Applied Surface Science 1993 Vol. 64; Iss. 3

PECVD silicon oxides as studied by XPS, RBS, ERDA, IRS and ESR

A. Ermolieff, T. Sindzingre, S. Marthon, P. Martin, F. Pierre, L. Peccoud
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Volume:
64
Année:
1993
Langue:
english
Pages:
9
DOI:
10.1016/0169-4332(93)90023-5
Fichier:
PDF, 687 KB
english, 1993
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