Finite difference simulation of electric force microscope...

Microelectronic Engineering 1996 Vol. 31; Iss. 1-4

Finite difference simulation of electric force microscope measurements

U. Mueller, S. Hofschen, C. Boehm, J. Sprengepiel, E. Kubalek, A. Beyer
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Volume:
31
Année:
1996
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/0167-9317(95)00346-0
Fichier:
PDF, 395 KB
english, 1996
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