Tunnel oxides grown by rapid thermal oxidation

Microelectronic Engineering 1993 Vol. 22; Iss. 1-4

Tunnel oxides grown by rapid thermal oxidation

M. Depas, R.L. Van Meirhaeghe, W.H. Laflère, F. Cardon
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Volume:
22
Année:
1993
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/0167-9317(93)90130-w
Fichier:
PDF, 317 KB
english, 1993
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