SiC growth and its application to high-speed Si-HBTs

Microelectronic Engineering 1992 Vol. 19; Iss. 1-4

SiC growth and its application to high-speed Si-HBTs

T. Sugii, T. Yamazaki, Y. Arimoto, T. Ito, Y. Furumura, I. Namura, H. Goto, A. Tahara
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Volume:
19
Année:
1992
Langue:
english
Pages:
8
DOI:
10.1016/0167-9317(92)90449-2
Fichier:
PDF, 468 KB
english, 1992
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