Silylation of three component E-beam resists: application...

Microelectronic Engineering 1990 Vol. 11; Iss. 1-4

Silylation of three component E-beam resists: application to shipley SAL 601

Thierry G. Vachette, Patrick J. Paniez, Michel Madore
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Volume:
11
Année:
1990
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/0167-9317(90)90151-i
Fichier:
PDF, 399 KB
english, 1990
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