A 100-femtosecond electron beam blanking system

Microelectronic Engineering 1990 Vol. 12; Iss. 1-4

A 100-femtosecond electron beam blanking system

J. Fehr, W. Reiners, L.J. Balk, E. Kubalek, D. Köther, I. Wolff
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Volume:
12
Année:
1990
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/0167-9317(90)90035-r
Fichier:
PDF, 428 KB
english, 1990
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