Surface reaction during the argon ion sputter cleaning of...

Surface Science Letters 1989 Vol. 217; Iss. 1-2

Surface reaction during the argon ion sputter cleaning of surface oxidized crystalline silicon (111)

T. Bekkay, E. Sacher, A. Yelon
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Volume:
217
Année:
1989
Langue:
english
Pages:
1
DOI:
10.1016/0167-2584(89)90963-8
Fichier:
PDF, 186 KB
english, 1989
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