Gas composition at the substrate in MW-CVD diamond growth:...

Diamond and Related Materials 2005 / 09 Vol. 14; Iss. 9

Gas composition at the substrate in MW-CVD diamond growth: An old problem revisited

Kováts, A., Deák, P.
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Volume:
14
Langue:
english
Journal:
Diamond and Related Materials
DOI:
10.1016/j.diamond.2005.04.003
Date:
September, 2005
Fichier:
PDF, 167 KB
english, 2005
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