Nitrogen profiles of thin sputtered PVD silicon nitride...

Vacuum 1993 Vol. 44; Iss. 3-4

Nitrogen profiles of thin sputtered PVD silicon nitride films

A Markwitz, H Baumann, EF Krimmel, M Rose, K Bethge, P Misaelides, S Logothetidis
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Volume:
44
Année:
1993
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/0042-207x(93)90185-d
Fichier:
PDF, 322 KB
english, 1993
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