2.22 The deposition by evaporation of CuAl alloy films

Vacuum 1977 Vol. 27; Iss. 4

F. d'Heurle, C. Alliota, J. Angilello, V. Brusic, J. Dempsey, D. Irmischer

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Volume:

Année:

1977

Langue:

english

Pages:

DOI:

10.1016/0042-207x(77)90017-3

Fichier:

PDF, 658 KB

english, 1977

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