Deposition of heteroepitaxial diamond on 6H-SiC single...

Diamond and Related Materials 2000 / 4 Vol. 9; Iss. 3-6

Deposition of heteroepitaxial diamond on 6H-SiC single crystal by bias-enhanced microwave plasma chemical vapor deposition

Chang, L., Yan, J.E., Chen, F.R., Kai, J.J.
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Volume:
9
Langue:
english
Journal:
Diamond and Related Materials
DOI:
10.1016/S0925-9635(99)00333-7
Date:
April, 2000
Fichier:
PDF, 2.79 MB
english, 2000
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