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Synthesis and microstructural characterisation of reactive...

Diamond and Related Materials 2004 / 4 Vol. 13; Iss. 4-8

Synthesis and microstructural characterisation of reactive RF magnetron sputtering AlN films for surface acoustic wave filters

Assouar, M.B., El Hakiki, M., Elmazria, O., Alnot, P., Tiusan, C.
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Volume:
13
Langue:
english
Journal:
Diamond and Related Materials
DOI:
10.1016/j.diamond.2003.11.064
Date:
April, 2004
Fichier:
PDF, 794 KB
english, 2004
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