In-line deposition of silicon-based films by hot-wire...

Surface and Coatings Technology 2013 / 01 Vol. 215

In-line deposition of silicon-based films by hot-wire chemical vapor deposition

Schäfer, Lothar, Harig, Tino, Höfer, Markus, Laukart, Artur, Borchert, Dietmar, Keipert-Colberg, Sinje, Trube, Jutta
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Volume:
215
Langue:
english
Journal:
Surface and Coatings Technology
DOI:
10.1016/j.surfcoat.2012.08.085
Date:
January, 2013
Fichier:
PDF, 807 KB
english, 2013
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