C-growth of d.c.-sputtered Mo and W thin films

Thin Solid Films 1994 Vol. 238; Iss. 1

C-growth of d.c.-sputtered Mo and W thin films

M. Maoujoud, P. Kons, M. Jardinier-Offergeld, F. Bouillon
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Volume:
238
Année:
1994
Langue:
english
Pages:
8
DOI:
10.1016/0040-6090(94)90649-1
Fichier:
PDF, 836 KB
english, 1994
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