Influence of the formation conditions on the microstructure...

Influence of the formation conditions on the microstructure of porous silicon layers studied by spectroscopic ellipsometry

U. Rossow, U. Frotscher, M. Thönissen, M.G. Berger, S. Frohnhoff, H. Münder, W. Richter
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Volume:
255
Année:
1995
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/0040-6090(94)05676-5
Fichier:
PDF, 367 KB
english, 1995
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