R.f. plasma-assisted chemical vapour deposition of...

Thin Solid Films 1992 Vol. 217; Iss. 1-2

R.f. plasma-assisted chemical vapour deposition of diamond-like carbon: physical and mechanical properties

E.H.A. Dekempeneer, R. Jacobs, J. Smeets, J. Meneve, L. Eersels, B. Blanpain, J. Roos, D.J. Oostra
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Volume:
217
Année:
1992
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/0040-6090(92)90605-b
Fichier:
PDF, 470 KB
english, 1992
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