Simple model calculation for ion-beam-enhanced deposition

Thin Solid Films 1991 Vol. 197; Iss. 1-2

Simple model calculation for ion-beam-enhanced deposition

Jiankun Zhou, D. Fink, J.P. Biersack, Genqing Yang, Binyao Jiang, Xianghuai Liu, Schichang Zou
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Volume:
197
Année:
1991
Langue:
english
Pages:
11
DOI:
10.1016/0040-6090(91)90248-v
Fichier:
PDF, 697 KB
english, 1991
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