Thermal degradation of TiSi2/poly-Si gate electrodes

S. Nygren, M. Östling, C.S. Petersson, H. Norström, K.H. Rydén, R. Buchta, C. Chatfield

Avez-vous aimé ce livre?

Quelle est la qualité du fichier téléchargé?

Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité

Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?

Volume:

168

Année:

1989

Langue:

english

Pages:

DOI:

10.1016/0040-6090(89)90016-3

Fichier:

PDF, 1.59 MB

english, 1989

La conversion en est effectuée

La conversion en a échoué