Determination of defects in SiO2 grown on Si(100)

Thin Solid Films 1983 Vol. 105; Iss. 1

Determination of defects in SiO2 grown on Si(100)

I. Stoev, Y. Koprinarova, I. Kosseva
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Volume:
105
Année:
1983
Langue:
english
Pages:
9
DOI:
10.1016/0040-6090(83)90331-0
Fichier:
PDF, 419 KB
english, 1983
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