Optical monitoring of the end point in thin film plasma...

Optical monitoring of the end point in thin film plasma etching

E.S. Braga, G.F. Mendes, J. Frejlich, A.P. Mammana
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Volume:
109
Année:
1983
Langue:
english
Pages:
7
DOI:
10.1016/0040-6090(83)90189-x
Fichier:
PDF, 400 KB
english, 1983
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