R.f. sputtering of gallium phosphide thin films
K. Starosta, J. Zelinka, D. Berková, J. KohoutVolume:
61
Année:
1979
Langue:
english
Pages:
8
DOI:
10.1016/0040-6090(79)90467-x
Fichier:
PDF, 487 KB
english, 1979