Amorphous carbon nitride deposition by nitrogen radical...

Diamond and Related Materials 2003 / 2 Vol. 12; Iss. 2

Amorphous carbon nitride deposition by nitrogen radical sputtering C+N+O+H

Nitta, Shoji, Aono, Masami, Katsuno, Takashi, Naruse, Yohko
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Volume:
12
Langue:
english
Journal:
Diamond and Related Materials
DOI:
10.1016/S0925-9635(03)00073-6
Date:
February, 2003
Fichier:
PDF, 204 KB
english, 2003
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