Electrical characterisation of diamond resistors etched by...

Diamond and Related Materials 1996 / 5 Vol. 5; Iss. 6-8

Electrical characterisation of diamond resistors etched by RIE

Vescan, A., Ebert, W., Borst, T.H., Kohn, E.
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Volume:
5
Langue:
english
Journal:
Diamond and Related Materials
DOI:
10.1016/0925-9635(95)00500-5
Date:
May, 1996
Fichier:
PDF, 465 KB
english, 1996
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