Synthesis of methyl boron nitride film as low-k insulating...

Diamond and Related Materials 2009 / 5 Vol. 18; Iss. 5-8

Synthesis of methyl boron nitride film as low-k insulating film for LSI interconnection

Aoki, Hidemitsu, Tokuyama, Shinji, Masuzumi, Takuro, Hara, Makoto, Mazumder, Motaharu Kabir, Watanabe, Daisuke, Kimura, Chiharu, Sugino, Takashi
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Volume:
18
Langue:
english
Journal:
Diamond and Related Materials
DOI:
10.1016/j.diamond.2009.01.012
Date:
May, 2009
Fichier:
PDF, 577 KB
english, 2009
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