Improved device variability in scaled MOSFETs with deeply...

Microelectronics Reliability 2014 / 06 Vol. 54; Iss. 6-7

Improved device variability in scaled MOSFETs with deeply retrograde channel profile

Woo, Jason, Chien, P.Y., Yang, Frank, Song, S.C., Chidambaram, Chidi, Wang, Joseph, Yeap, Geoffrey
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Volume:
54
Langue:
english
Journal:
Microelectronics Reliability
DOI:
10.1016/j.microrel.2013.11.003
Date:
June, 2014
Fichier:
PDF, 1.19 MB
english, 2014
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