Optical and electrical characteristics of plasma enhanced...

Thin Solid Films 2014 / 05 Vol. 558

Optical and electrical characteristics of plasma enhanced chemical vapor deposition boron carbonitride thin films derived from N-trimethylborazine precursor

Sulyaeva, Veronica S., Kosinova, Marina L., Rumyantsev, Yurii M., Kuznetsov, Fedor A., Kesler, Valerii G., Kirienko, Viktor V.

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Volume:

558

Langue:

english

Journal:

Thin Solid Films

DOI:

10.1016/j.tsf.2014.02.082

Date:

May, 2014

Fichier:

PDF, 1.09 MB

english, 2014

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