Injection moulding antireflective nanostructures

Microelectronic Engineering 2014 / 06 Vol. 121

Injection moulding antireflective nanostructures

Christiansen, Alexander B., Clausen, Jeppe S., Mortensen, N. Asger, Kristensen, Anders
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Volume:
121
Langue:
english
Journal:
Microelectronic Engineering
DOI:
10.1016/j.mee.2014.03.027
Date:
June, 2014
Fichier:
PDF, 1.24 MB
english, 2014
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