Development of high performance piezoelectric d33 mode MEMS...

Sensors and Actuators A: Physical 2014 / 01 Vol. 205

Development of high performance piezoelectric d33 mode MEMS vibration energy harvester based on PMN-PT single crystal thick film

Tang, Gang, Yang, Bin, Liu, Jing-quan, Xu, Bin, Zhu, Hong-ying, Yang, Chun-sheng
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Volume:
205
Langue:
english
Journal:
Sensors and Actuators A: Physical
DOI:
10.1016/j.sna.2013.11.007
Date:
January, 2014
Fichier:
PDF, 2.03 MB
english, 2014
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