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Chemical-reaction dependence of plasma parameter in...

Science and Technology of Advanced Materials 2001 / 09 Vol. 2; Iss. 3-4

Chemical-reaction dependence of plasma parameter in reactive silane plasma

Takai, Madoka, Nishimoto, Tomonori, Kondo, Michio, Matsuda, Akihisa
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Volume:
2
Langue:
english
Journal:
Science and Technology of Advanced Materials
DOI:
10.1016/S1468-6996(01)00130-9
Date:
September, 2001
Fichier:
PDF, 556 KB
english, 2001
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