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Reactive DC magnetron sputtering of aluminum nitride films...

Diamond and Related Materials 2002 / 3 Vol. 11; Iss. 3-6

Reactive DC magnetron sputtering of aluminum nitride films for surface acoustic wave devices

Assouar, M.B., Elmazria, O., Le Brizoual, L., Alnot, P.
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Volume:
11
Langue:
english
Journal:
Diamond and Related Materials
DOI:
10.1016/S0925-9635(01)00708-7
Date:
March, 2002
Fichier:
PDF, 356 KB
english, 2002
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