A novel fabrication process for MEMS spiral inductors...

Microsystem Technologies 2015 / 7 Vol. 21; Iss. 7

A novel fabrication process for MEMS spiral inductors realized on oxide islands

Kifle, Teweldebrhan, Chandra, Sudhir, Koul, S. K.
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Volume:
21
Langue:
english
Journal:
Microsystem Technologies
DOI:
10.1007/s00542-014-2201-0
Date:
July, 2015
Fichier:
PDF, 2.22 MB
english, 2015
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