Effects of Ambient Humidity on a Micromachined Silicon...

Journal of Microelectromechanical Systems 2014 / 04 Vol. 23; Iss. 2

Effects of Ambient Humidity on a Micromachined Silicon Thermal Wind Sensor

Chen, Bei, Zhu, Yan-Qing, Qin, Ming, Huang, Qing-An
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Volume:
23
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/JMEMS.2014.2298403
Date:
April, 2014
Fichier:
PDF, 398 KB
english, 2014
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